高电荷态锡离子极真空紫外波段自吸收光谱轮廓的细致分析

摘要：

等离子体动力学模拟是一种非常有效的等离子体状态诊断和光谱分析方法,已被广泛应用于激光等离子体光谱的解释和演化分析中.本文基于流体动力学方程和辐射输运方程,并结合稳态的碰撞辐射模型,提出了一种简化的能够分析模拟中高Z元素高电荷态离子极真空紫外(Extreme Ultraviolet,EUV)波段光谱的辐射流体动力学模型,并成功应用于激光产生的锡等离子体EUV光谱的分析和模拟.结果表明,理论模拟光谱与激光功率密度为1.90×1011 W/cm2的实验光谱之间具有良好的一致性.通过比较Sn7+-Sn11+离子的4d-4f,4p-4d和4d-5p,5跃迁阵列的发射轮廓和自吸收轮廓,明确了不透明度效应对发射光谱轮廓的影响,成功解释了13.5 nm附近自吸收带和自吸收峰的成因.相关研究预期能够为极真空紫外辐射在光刻、计量、生物成像等领域的应用研究提供参考.

关键词：激光等离子体、高电荷态离子、辐射流体动力学模型、自吸收效应

所属期刊栏目：47

分类号：O57;O43

资助基金：国家自然科学基金11064012,11364037,11274254,U1332206,11564037;甘肃省高等学校基本科研业务费和甘肃省自然科学基金1308RJZA166,1104WCGA186

在线出版日期：2017-12-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：54-61