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10.1360/SSPMA2016-00380

微纳电子技术进展专辑·编者按

引用
集成电路技术的快速发展,推动了人类社会各行业的蓬勃发展.然而,随着集成电路工艺特征尺寸的持续缩小,基于硅基的逻辑和存储器件单纯依靠尺寸微缩来提高性能和集成度己遇到难以克服的物理障碍,因此,以新材料、新结构和新原理为主要特征的后摩尔时代的微纳电子技术受到广泛关注,成为集成电路领域的科学前沿.本专辑紧密围绕后摩尔时代的逻辑和存储技术的发展,从上述三个方面对微纳电子技术的进展进行了概述和展望.

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2016-10-25(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

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中国科学(物理学 力学 天文学)

1003-9996

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2016,46(10)

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