ZrO2/W纳米多层膜的氦离子辐照损伤研究

摘要：

本文主要围绕ZrO2/W纳米多层膜的抗辐照损伤性能进行研究.实验中使用70 keV He+在8×1016-6×1017 cm-2的剂量范围对磁控溅射生长的ZrO2/W多层膜样品进行辐照.辐照前后使用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)以及透射电子显微镜(TEM)对样品的表面形貌及微观结构随剂量增加的演化过程进行表征.研究表明,ZrO2/W纳米多层膜具有较强的抗辐照损伤及抑制氦泡的特性.实验结果也显示,即使对于相同的纳米多层膜组成成分,由于结晶品质、晶界结构和界面的不同,抗辐照性能有所差异.

关键词：纳米多层膜、离子辐照损伤、氦泡、层间界面、晶界

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资助基金：国家重点基础研究发展计划2010CB832904;国家自然科学基金11075005;国家重点项目基金91226202

在线出版日期：2014-03-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1314-1320