用于快速、无损检测阳极氧化铝阻挡层厚度的光谱方法
报道一种用于快速、无损检测阳极氧化铝(Anodic Aluminum Oxide,AAO)阻挡层的光谱方法.通过两步阳极氧化法制备了孔径均一,孔道相互平行的纳米孔氧化铝薄膜;用紫外-可见-近红外(UV-VIS-NIR)光谱仪研究了不同阻挡层厚度的样品的透射光谱;结果表明,在可见-近红外光范围内,有阻挡层的纳米孔氧化铝薄膜的透射光谱出现振荡波,而且其波峰(谷)的数目与AAO的阻挡层厚度成线性关系,其线性相关系数为0.99979.这一发现为快速无损检测AAO阻挡层厚度提供了一种简单而高效的方法.
阳极氧化铝、阻挡层厚度、紫外-可见-近红外光谱
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O484.5(固体物理学)
2012-02-21(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
1052-1057