用于快速、无损检测阳极氧化铝阻挡层厚度的光谱方法

摘要：

报道一种用于快速、无损检测阳极氧化铝(Anodic Aluminum Oxide,AAO)阻挡层的光谱方法.通过两步阳极氧化法制备了孔径均一,孔道相互平行的纳米孔氧化铝薄膜；用紫外-可见-近红外(UV-VIS-NIR)光谱仪研究了不同阻挡层厚度的样品的透射光谱；结果表明,在可见-近红外光范围内,有阻挡层的纳米孔氧化铝薄膜的透射光谱出现振荡波,而且其波峰(谷)的数目与AAO的阻挡层厚度成线性关系,其线性相关系数为0.99979.这一发现为快速无损检测AAO阻挡层厚度提供了一种简单而高效的方法.

关键词：阳极氧化铝、阻挡层厚度、紫外-可见-近红外光谱

所属期刊栏目：41

分类号：O484.5(固体物理学)

在线出版日期：2012-02-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：1052-1057