NiSi薄膜的拉曼研究

摘要：

在Si(100)衬底上通过电子束蒸发法外延生长晶体取向单一的NiSi薄膜材料.利用极化拉曼验分析技术并结合群论以及晶格振动理论对NiSi薄膜拉曼峰的对称性进行指认.在此基础上计算了各类声子峰对应的晶格振动模式.我们还讨论了两种不同的激光退火方法对晶体质量的影响.

关键词：NiSi薄膜、拉曼、声子、晶格振动、退火

所属期刊栏目：40

分类号：O4(物理学)

在线出版日期：2011-05-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：275-279