256×1甚长波多量子阱红外焦平面线列研制
通过材料设计与制备,甚长波GaAs/AlGaAs多量子阱红外探测器的峰值响应波长14.6μm,响应带宽大于2.2岬.256×1焦平面线列采用垂直入射二维光栅耦合工作模式,45 K温度下,单元响应率4.28×10-2 A/W、单元黑体探测率Db*=5.14×109 cm.Hz1/2/W、单元黑体单色探测率Dλ*=4.24×1010cm.Hz1/2/W.通过铟柱与互补式金属-氧化物-半导体读出电路互连得到的甚长波量子阱红外探测器FPA(focal plane array)在积分时间100μs时,有效像元率Nef=99.22%、平均响应率R=3.485×106V/W、响应率的不均匀性UR=5.83%、平均黑体探测率典型值Db*=2.181×108cm.Hz1/2/W、平均单色探测率Dλ*=8.288×109cm·Hz1/2/W.器件已适合进行室温目标的热像图.
量子阱、焦平面、超长波、红外探测器、衍射光栅
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O4(物理学)
国家自然科学基金10374095;上海市自然科学基金04ZR14038
2009-04-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共8页
1075-1082
