Kinetic Monte Carlo方法对薄膜生长初期表面形貌的研究

摘要：

用Kinetic Monte Carlo方法研究了薄膜生长初期的表面形貌,对激活能的计算采用了更加通用、准确的算法,模型考虑了原子吸附、迁移、脱附、蒸发原子返回基底,二体运动等多种机理,根据模型编写了相应的软件,利用计算机图形学的原理对薄膜的表面形态进行了三维立体成像,并通过模拟发现,在低温和高温时薄膜的早期成核和表面形貌完全不同,薄膜后续的生长与早期成核有很大的关系.微观机理主要受原子的热运动影响,温度决定扩散能力,入射率决定扩散时间.

关键词：薄膜、初期、表面形貌、模拟、KMC

所属期刊栏目：37

分类号：O4(物理学)

资助基金：国家自然科学基金10574059;甘肃省自然科学基金ZSO42-B25-033;兰州交通大学"青蓝"计划基金;兰州交通大学光电技术与智能控制教育部重点实验室开发基金K040101;中国博士后科学基金31411

在线出版日期：2007-10-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：9-16