热处理对ZnO:Al薄膜的结构、光学和电学性质的影响

摘要：

用电子束蒸发技术在石英衬底上制备了铝掺杂氧化锌(ZnO:Al)透明导电薄膜,并对其退火前后的结构和光电性质进行了研究.X射线衍射实验结果表明所制备样品均具有c轴择优取向的六角多晶结构.光致发光谱由较强的紫外发光和弱深能级缺陷发光组成.薄膜具有较高的透射率、电导率和载流子浓度.Hall效应测试结果表明薄膜为简并n型半导体,室温电阻率为6.7×10-4 Ω·cm,载流子浓度在1020 cm－3量级.研究了其导电机理及载流子的输运机制.

关键词：ZnO:Al薄膜、光致发光、电学性质、结构性质、Van der Pauw测试

所属期刊栏目：34

分类号：O4(物理学)

资助基金：国家自然科学基金60176003,60376009

在线出版日期：2004-12-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：345-353