薄膜外延生长及其岛核形成的计算机模拟

摘要：

以Cu膜为例,用Monte Carlo算法模拟了薄膜生长的随机过程.找到了生长过程中的三个优化温度,并研究了它们的渐近一致性,同时对各种温度区间内表面粗糙度、相对密度随入射率的变化规律进行深入的探讨.模拟中考虑了一些新的效应,如原子迁移过程中势能的变化,以及原子扩散引起的连带效应,从而使模拟更加合理.模型中采用了冻结周围原子近似和周期性边界条件处理.

关键词：Monte Carlo算法、计算机模拟、岛核、薄膜生长、粗糙度、相对密度

所属期刊栏目：34

分类号：TP3(计算技术、计算机技术)

资助基金：国家自然科学基金10175030;兰州大学校科研和教改项目

在线出版日期：2004-09-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共10页

页码：131-140