有机衬底Zn-Sn-O透明导电膜的低温制备及特性

摘要：

采用射频磁控溅射法在有机衬底PPA上低温制备出Zn-Sn-O透明导电膜, 并对薄膜的结构和光电性质进行了研究. 制备的薄膜为非晶结构, 薄膜与衬底有良好的附着性. 性能良好的有机衬底Zn-Sn-O透明导电膜的电阻率为1.3×10-2Ω·cm, 载流子浓度为4.4×1019 cm-3, Hall迁移率为12.4 cm2·V-1·s-1. 薄膜在可见光范围的平均透过率达到了82%.

关键词：有机衬底、Zn-Sn-O透明导电膜、射频磁控溅射

所属期刊栏目：33

分类号：O4(物理学)

资助基金：国家自然科学基金60276044;高等学校博士学科点专项科研项目20020422056

在线出版日期：2004-02-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：448-453