电化学三维微沉积技术及其研究进展

摘要：

电化学沉积加工技术是一种以原子量级逐层堆叠方式来进行金属基材料制备与零件制造的特种加工技术,具有适用材料广、实施温度低(一般70℃以下)、应用形式灵活、易于控性控形、不受尺寸限制等优点,在面向金属微增材制造方面颇具发展潜能.本文主要介绍了以电化学沉积工艺为主体来制造三维金属微结构与零件的代表性技术,包括掩膜电沉积、即膜沉积、electrochemical fabrication (EFAB)、局域生长电沉积、喷射电沉积、电化学打印、月牙形电解液约束三维电沉积成形、电化学扫描隧道显微镜技术等,着重阐释了它们的工艺原理、关键技术、优势与不足以及存在的主要问题和挑战,并对该技术领域未来的发展趋势和研究重点进行了展望.

关键词：电化学沉积、金属微增材制造、掩膜电沉积、EFAB、喷射电沉积、电化学打印

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资助基金：国家自然科学基金51475149;河南省高校科技创新团队支持计划15IRTSTHN013;河南省基础与前沿技术研究计划162300410025

在线出版日期：2018-06-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共13页

页码：347-359