硅基光电子发光材料与器件

摘要：

用光子作为信息载体的光互连是硅集成电路的发展趋势之一,而硅基光互连的实现,必须发展与当前集成电路制造工艺兼容的高效硅基光源.本文概述了近年来国际上硅基光源的主要研究成果,重点介绍了我们研究组在硅量子点、硅晶体缺陷、硅基氮氧化物薄膜和硅基氧化物半导体薄膜发光材料与器件等方面的研究进展.

关键词：硅基光电子、光源、发光材料与器件

所属期刊栏目：47

分类号：TQ1;TS2

资助基金：国家重点基础研究发展计划2013CB632102

在线出版日期：2017-11-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共16页

页码：1001-1016