薄膜元件基底断点划痕的激光辐照效应

摘要：

建立了断点划痕的正棱锥模型,在355 nm激光辐照下,用三维时域有限差分法研究了熔石英后表面具有不同棱角的断点划痕对场分布的调制作用.结果表明,电场强区分布在棱边一侧,深度在亚表面层22内.相同情况下,边边相对,比角角相对和边角相对具有更大的调制强度.随着棱角数目的增多,需要更大的坑点间距才能获得调制最大值.研究表明这类划痕诱导的最大电场幅值为入射波的3.70倍,可采用酸蚀或者CO2激光辐照钝化棱角的方法来减小调制.

关键词：高功率激光、划痕、激光辐照、时域有限差分

所属期刊栏目：47

分类号：TN2;O43

资助基金：西南民族大学中央高校基本科研业务费专项资金2017NZYQN25

在线出版日期：2017-10-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：972-976