梯度氢稀释法制备微晶硅n-1-P太阳电池的研究

摘要：

采用高压RF-PECVD技术,研究了恒定氢稀释法和梯度氢稀释法对本征微晶硅薄膜纵向结构和n-i-P微晶硅太阳电池性能的影响.结果表明,采用梯度氢稀释法能够调控本征微晶硅薄膜的纵向晶化率分布和晶粒尺寸,使电池性能得到大幅度提高,获得转换效率为5.7%(Voc=0.47 V,Jsc=20.2 mA/cm2,FF=60%)的单结微晶硅太阳电池及转换效率为10.12%(Voc=1.2 V,Jsc=12.05 mA/cm2,FF=70%)的叠层太阳电池.

关键词：梯度氢稀释法、微晶硅、n-i-P太阳电池

所属期刊栏目：39

分类号：TM91

资助基金：国家重点基础研究发展规划973计划2006CB202602;2006CB202603;国家科技计划配套项目07QTPTJC29500

在线出版日期：2009-07-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1058-1062