常温纳米压印软模具变形机理研究

摘要：

通过对软模具变形的理论分析、数值模拟和实验验证的系统研究,以期揭示模具变形的机理、规律和关键影响因素,为探索减小模具变形策略和方法,提高纳米压印复型精度奠定理论基础,以实现高保真度纳米或亚纳米图型的转移.

关键词：纳米压印、软模具、变形、抗蚀剂减薄、复型精度、数值模拟

所属期刊栏目：39

分类号：TG7(刀具、磨料、磨具、夹具、模具和手工具)

资助基金：国家重点基础研究发展规划973计划2003CB716203;国家自然科学基金50775176;山东省自然科学基金Y2007F49

在线出版日期：2009-04-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共10页

页码：74-83