离子束增强沉积合成ZrN/W纳米多层膜

摘要：

利用离子束增强沉积方法在室温和不同能量的氮离子轰击条件下制备了不同调制周期的ZrN/W纳米多层膜. 利用XRD, AES和纳米压痕仪分析了调制周期和离子轰击能量对薄膜结构和机械性能的影响, 结果表明多层膜的机械性能基本都优于单质的ZrN或W薄膜. 和其他制备条件相比, 在300 eV能量的氮离子轰击下制备的调制周期为 8～9 nm的多层膜, 其结构中出现了强的 ZrN(111), W(110)和 ZrN(220)织构的混合, 它的硬度和弹性模量分别达到 26 和 310 GPa, 也展示了较高的耐磨性.

关键词：离子束增强沉积、ZrN/W、多层膜、纳米尺度

所属期刊栏目：37

分类号：O6(化学)

资助基金：天津市科技计划国际合作项目07ZCGHHZ01500;国家自然科学基金50472026

在线出版日期：2008-01-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1455-1460