硅微加工超声成像传感器的理论模型和优化设计

摘要：

对硅微加工静电或电容超声成像传感器提出了一个理论模型和数学描述.根据这个模型,可从传感器的几何结构尺寸和所用材料的物理参数预测其固有频率、本征模、共振和反共振频率、膜片机械阻抗这些基本性能参数.同时揭示了这种传感器有两个基本工作模式,分别对应由膜片和气隙构成的质量弹簧振子共振和膜片本身的一阶弯曲振动模式,进而提出通过设计使这两个模式耦合展宽带宽的方法,从而为优化设计提供了理论基础.

关键词：硅微加工电容超声传感器、超声成像传感器、模型、优化设计

所属期刊栏目：37

分类号：TP2(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金60374044;69974001

在线出版日期：2007-10-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：700-706