亚微米PZT阵列制备及铁电性能研究

摘要：

采用感光溶胶-凝胶法,在ITO/石英基板上制备了具有紫外感光性的PZT前驱溶胶及凝胶薄膜.利用薄膜自身的感光性,采用He-Cd紫外激光双光束干涉和二次曝光工艺,结合有机溶剂溶洗和600℃,15 min热处理,制备了点阵周期为1 μm,阵列格点尺寸为480 nm×480 nm×40 nm的PZT薄膜阵列.并将原子力显微镜(AFM)和铁电测试仪联用,采用具有导电涂层的探针,通过扫描获得铁电阵列的三维图像.据此图像,把探针定位于特定的微小格点上,由铁电仪通过AFM探针提供电压,并经探针将测试信号反馈给铁电仪,以获得格点的电滞回线.结果表明,亚微米量级的PZT阵点随外电场的变化可以实现极化反转,表现出明显的铁电特性.

关键词：锆钛酸铅、铁电薄膜、感光性、电滞回线

所属期刊栏目：37

分类号：O6(化学)

资助基金：国家重点基础研究前期专项项目2003CCA03300;国家自然科学基金90401009

在线出版日期：2007-10-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1-6