具有高温稳定性的ZrAlN薄膜的合成

摘要：

干磨可以造成工具表面的温度上升到800～1000℃.因此,能在如此高温度下为切削工具提供保护的膜层已成为研究的热点.ZrAlN由于Al元素的存在可能具有高温稳定的结构和机械性能.用直流磁控溅射的方法合成了ZrAlN 薄膜.利用XRD与纳米压痕仪分析了反应气体分压和基底偏压对薄膜结构、机械性能及其高温热稳定性的影响.在最佳条件(基底偏压-37 V,N2分压为2×10-5 Pa)制备的ZrAlN薄膜具有平滑的表面且其硬度具有热稳定性.在退火之后,该薄膜的应力由2.2 Gpa降至0.7 Gpa.薄膜的高温热稳定性可能与Al2O3和ZrO2晶相的形成有着直接的联系.

关键词：ZrAlN薄膜、磁控溅射、热稳定性

所属期刊栏目：36

分类号：O6(化学)

资助基金：天津市应用基础研究项目043801011;国家自然科学基金50472026

在线出版日期：2006-10-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：969-974