用于数字微流体器件的介质上电润湿(EWOD)液滴产生器

摘要：

介质上电润湿(EWOD)是指通过在介质层下面的微电极阵列上施加电势来控制液体和固体介质层表面之间的润湿特性. 研制出了EWOD液滴产生器的原型. 它采用"三明治"结构: 液体被夹在上下电极之间; 下极板用硅作为微电极阵列衬底、低压化学气相淀积(LPCVD)制备的Si3N4薄膜作为介质层, 感应耦合等离子体化学气相淀积(ICP-CVD)制备的碳氟聚合物薄膜作为厌水层; 上极板是覆盖有厌水层的透明导电玻璃板. 为了得到产生液滴所需要的最小电压, 对液滴产生的过程和临界条件进行了理论分析. 在35V电压下实现了包围在硅油中的去离子水液滴的产生.

关键词：微全分析系统、介质上电润湿、液滴产生和控制、感应耦合等离子体化学气相淀积

所属期刊栏目：36

分类号：O4(物理学)

资助基金：清华大学校科研和教改项目JC2003060,JC2003061;中国科学院资助项目10472055,60401009

在线出版日期：2006-04-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：105-112