基于碳纳米管薄膜的吸附式气体传感器的研究

摘要：

研究了低温低压化学气相沉积(LPCVD)法生长的多壁碳纳米管薄膜对气体的敏感性.结果表明纯的多壁碳纳米管薄膜对气体没有明显的气敏特性,而碳纳米管-二氧化硅复合薄膜表现出对甲烷、氢气和乙炔的敏感性.LPCVD法生长的多壁碳纳米管-二氧化硅复合薄膜由于Schottky结的形成而具有电容性,被测气体在多壁碳纳米管表面发生化学吸附,从而调节Schottky结处存在的空间放电区域而导致介电常数改变是其对气体敏感的主要原因.

关键词：气体传感器、碳纳米管、低压化学气相淀积、分散

所属期刊栏目：35

分类号：TP2(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金50077016,60036010,60276037

在线出版日期：2005-08-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共12页

页码：689-700