电子束辐照下钛酸锶钡薄膜的电子能量损失谱研究

摘要：

实验发现在较高电流密度的电子束照射下(电流密度约为2nA/cm2),BST薄膜有辐照损伤现象发生.原位实时记录的Ti和O的电子能量损失电离边峰强度比和相对位移的变化表明:损伤过程主要表现为薄膜失氧及其导致的正离子化学价态的变化.具高空间分辨的电子能量损失谱研究证明:相对于具有完整晶体结构的柱状晶晶粒内部,有着特殊结构和化学环境的柱状晶晶粒边界是失氧的主要途径.

关键词：钛酸锶钡薄膜、辐照损伤、电子能量损失谱

所属期刊栏目：34

分类号：TN1(真空电子技术)

资助基金：国家自然科学基金;国家重点基础研究发展计划973计划;面向21世纪教育振兴行动计划985计划

在线出版日期：2004-10-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：961-968