激光聚变靶球充气微孔扫描探针加工技术研究

摘要：

为解决核聚变激光靶球诊断气体充气问题及满足充气微孔良好的堵胶工艺性,基于扫描探针显微镜的金刚石探针为工具,采用接触力扫描方式对靶球充气微孔进行了微加工工艺研究.研究了金刚石针尖扫描方向、扫描速度及扫描接触压力等工艺参数对微孔形成的影响,得到了较准确的锥状孔型,其孔型尺寸与加工精度满足微孔充气及其堵胶工艺性的要求.实验结果表明,利用扫描探针显微镜作为工具并通过加工工艺研究,可以实现靶球充气锥型微孔的精确加工,为靶球高Z气体的注入提供了一种新的实用技术.

关键词：靶球、扫描探针显微镜、金刚石微探针、微加工工艺、脆性材料

所属期刊栏目：34

分类号：TN2(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金50275039;哈尔滨工业大学校科研和教改项目HIT.2002.23

在线出版日期：2004-09-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：305-310