微机械桥型压控振荡器

摘要：

设计制作了一种由电热激励/压敏电桥拾振的二氧化硅/硅双层微桥谐振器及其闭环谐振电路实现的高Q值微机械压控振荡器. 通过调节压敏电桥的桥压, 改变桥的平均温升和轴向应变, 可调节压控振荡器的中心频率. 理论计算和实验结果表明, 输出信号的频率与桥压的平方具有良好的线性关系. 对所测试的器件, 其线性度为0.16%, 振荡频率可调节范围与振荡频率的比值为17.15%.

关键词：压控振荡器、微桥、谐振器、微机电系统

所属期刊栏目：34

分类号：TN75(基本电子电路)

资助基金：国家自然科学基金60036016,50077016;高等学校博士学科点专项科研项目98069828

在线出版日期：2004-03-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：14-19