激光层裂法定量测定薄膜界面结合强度

摘要：

提出定量测定薄膜界面结合强度的激光层裂技术. 分析了激光诱发薄膜层裂的物理过程,在基于薄膜内部应力波多重反射、透射基础上,建立薄膜层裂数学模型,推导出薄膜层裂条件下的界面结合强度和相应层裂应变率的计算公式. 对Cr不锈钢/TiN, Al/EPOXY, 纯Fe/EPOXY三个体系的界面结合强度进行了测定. 提出直观判别薄膜层裂的波形分析法,直接确定层裂时刻、层裂深度、层裂强度. 实现了单次激光冲击,一次确定薄膜界面拉伸强度.

关键词：脉冲激光、薄膜结合强度、层裂、应力波、测量

所属期刊栏目：32

分类号：TN24(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金60108006

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：28-36