智能化石英坩埚在线清洗系统

摘要：

本文介绍了一种智能化石英坩埚在线清洗系统,包括配酸系统,酸洗系统、纯水冲淋系统、PLC控制系统.配酸系统按照预定的酸液与纯水配比配置一定浓度的酸.将配好的酸液导入酸池用于石英坩埚的酸液喷淋,酸洗系统中的酸液可以循环利用,配酸系统在石英坩埚酸洗过程中对酸洗池的酸液用量和浓度进行监控,并对酸洗池中的酸液品质进行改善和补充.酸洗完成后,石英坩埚进入纯水冲淋系统进行纯水冲洗,去除酸洗过程中坩埚表面残留的杂质.整套系统由PLC控制系统进行控制,实现石英坩埚自动化智能化在线清洗.

关键词：石英坩埚、在线清洗、智能化

分类号：TP278(自动化技术及设备)

资助基金：科技型中小企业技术创新基金10C26213201003

在线出版日期：2012-01-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：111-112