低气压热阴极直流放电PIC-MCC模拟

摘要：

等离子体的动态行为非常复杂,主要通过自恰与外加的电磁场来交互作用,常涉及多重时间与空间耦合的非线性过程.因此,用计算机模拟来研究等离子体的复杂现象与作用机制是必要且实际有效的方法.本文首先介绍PIC-MCC方法进行等离子体模拟,然后模拟了低气压条件下,氟气在圆柱形真空腔中通过热阴极直流放电产生的等离子体的特性.

关键词：等离子体模拟、热阴极直流放电、PIC、MCC

分类号：TN2;TN3

在线出版日期：2011-01-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：145-147