10.3969/j.issn.1001-8972.2008.20.019
氧气浓度对ZnO薄膜光电性能的影响
采用磁控溅射法镀制ZnO薄膜,通过椭偏仪和四探针测试仪分析了氧气浓度对薄膜光电性能的影响.结果表明:随着氧分压的增加,薄膜折射率呈变大的趋势,电阻率升高,导电性能降低.
Zno薄膜、磁控溅射、折射率、电阻率
O484.1(固体物理学)
2008-12-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共2页
38-39
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10.3969/j.issn.1001-8972.2008.20.019
Zno薄膜、磁控溅射、折射率、电阻率
O484.1(固体物理学)
2008-12-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共2页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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