三维混合集成M-Z光波导传感器的设计

摘要：

设计了基于聚合物材料与无机材料三维混合集成的马赫增德尔(M-Z)光波导传感器,从结构和材料方面提升器件性能.分析器件结构两臂的光波导模式特性,采用有效折射率法得出传感精度曲线,优化波导尺寸为2 μm×2μm(长×宽),使其传感精度相比平面结构提升2～3倍,光束传播法模拟光场分布,模拟传感长度差为100～3 000 μm时的器件输出曲线.利用多材料混合集成,通过温度控制器件的传感区间,可解决精度退化问题.

关键词：微电子学与固体电子学、传感器、光波导、有效折射率法、混合集成

所属期刊栏目：12

分类号：TM0439(一般性问题)

资助基金：国家自然科学基金资助项目61605057,61575076;高等学校博士学科点专项科研基金资助项目20130061120060;吉林省优秀青年基金资助项目20170520158JH;大学生创新计划资助项目2016A51179

在线出版日期：2018-01-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1617-1620