扫描探针显微镜用碳纤维探针的电化学腐蚀制备方法

摘要：

为了克服传统SPM金属探针的易变形、易磨损、使用寿命短等缺点,利用自主开发的电化学腐蚀控制电路,采用电化学腐蚀法制备了碳纤维探针,并研究了制备工艺条件对碳纤维探针形貌的影响.实验结果表明最佳制备工艺条件为:采用高模量的M55J碳纤维,腐蚀起始电压为4V,参考电压为1V,电解液为4 mol/L的NaOH溶液.在此工艺条件下制得了尖端曲率半径约为30 nm的碳纤维探针,制备的成功率在50％以上.在室温、大气环境条件下,用上述碳纤维探针对高定向裂解石墨表面进行STM扫图,图像呈现清晰的石墨台阶,说明采用电化学腐蚀法制备的碳纤维探针性能稳定,满足SPM使用的要求.

关键词：材料学、碳纤维探针、电化学腐蚀、扫描探针显微镜

所属期刊栏目：11

分类号：TB332(工程材料学)

资助基金：高等学校博士学科点专项科研基金资助项目20122302120034

在线出版日期：2016-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：418-420,437