多层石墨烯在飞秒激光作用下的损伤

摘要：

使用飞秒激光对化学气相沉积（CVD）法制备的多层石墨烯进行辐照，得到了多层石墨烯的单脉冲破坏阈值为0．22 mW；利用光学显微镜、原子力显微镜（AFM）和拉曼光谱对加工前、后的试样进行表征，阐述了飞秒激光对多层石墨烯的烧蚀损伤效应，发现飞秒激光在石墨烯微图案化加工方面具有潜在的优势，能够达到亚微米级的加工精度；同时在烧蚀边缘区域，多层石墨烯出现减薄现象。

关键词：特种加工工艺、多层石墨烯、飞秒激光、烧蚀、损伤

分类号：V261.8(航空制造工艺)

资助基金：高等学校博士学科点专项科研基金资助项目20130002110088；北京市自然科学基金资助项目3142010；清华大学摩擦学国家重点实验室自主关注课题SKLT2014A03

在线出版日期：2016-03-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：2585-2587