静力水准传感器中厚膜陶瓷电容传感器的研制

摘要：

为研制可用于粒子加速器等大科学工程的高精度静力水准传感器，结合国内电容微位移测量技术，完成厚膜陶瓷电容的结构设计。针对参数设计，采用正交实验法和Ansoft Maxwell有限元仿真软件的优化方法，完成了电容传感器的制备及样机的测试。测试实验结果表明传感器具有2．6085％的线性度。

关键词：静力水准传感器、厚膜电容、正交实验、Ansoft Maxwell软件

分类号：TH73;TH822(仪器、仪表)

资助基金：高等学校博士学科点专项科研基金资助项目20123402110002

在线出版日期：2014-03-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：40-44