10.3969/j.issn.2095-2783.2013.12.005
基于阵列电极的电沉积铜层均匀度研究
为解决微小、复杂零件电镀时存在的电流密度分布不均匀的问题,在固定尺寸的电镀槽内,使用工作面积不同和排列位置不同的阵列玻碳电极作为阴极,模拟多个微小零件,通过测试阴极极化曲线和恒电位沉积-溶出实验,研究镀铜液静止和流动时对阴极电流密度分布影响.研究发现:电极工作面积增大,极限扩散电流密度减小;搅拌镀液并不能使工作面积不同的电极电流密度分布平均化;电极呈等边三角型排布时电流密度平均分布情况最好.
应用化学、电极、电流密度分布
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TQ153.1
高等学校博士学科点专项科研基金资助项目20112302120035
2014-04-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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