陶瓷球表面类金刚石碳膜均匀沉积机构设计及运动仿真

摘要：

在Si3N4陶瓷球表面沉积低摩擦因数的类金刚石碳膜,可以进一步降低陶瓷球轴承的摩擦因数.为了在陶瓷球表面均匀沉积类金刚石碳膜,设计了三沟道单自转盘和三自转盘两种镀膜机构,并且对陶瓷球在工装中的运动进行了仿真,在此基础上讨论了两种机构的镀膜均匀性.三沟道单自转盘镀膜机构的镀膜均匀性较好,该机构能在陶瓷球表面沉积均匀的类金刚石碳膜.

关键词：轴承、摩擦、沉积、碳膜、陶瓷材料、机械设计、计算机仿真

分类号：TH133.33+1

在线出版日期：2012-11-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：598-602