注入电压对Ti6A14V合金离子注氧层结构的影响

摘要：

采用等离子体基氧离子注入技术对Ti6A14V合金进行表面处理.注入电压选取-30和-50kV.注入层的结构用X射线光电子能谱、小掠射角X射线衍射、Raman光谱进行表征.注入样品在注氧层中均形成了以TiO2为主的键结构,-30kV低电压注入样品的注氧层中TiO2为非晶态,经过500℃真空退火后,TiO2结晶形成金红石.而-50kv高注入电压则可在注氧层中直接形成粒径为nm的金红石.

关键词：材料学、结构、等离子体基氧离子注入、Ti6A14V合金

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分类号：TG146.2;TG178(金属学与热处理)

资助基金：高等学校博士学科点专项科研基金资助项目20040213048

在线出版日期：2008-12-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：246-249