VO2薄膜制备工艺及电阻开关特性研究

摘要：

用溶胶-凝胶法在非晶玻璃上制备VO2薄膜,经过熔融、涂膜、烘干和热处理等工艺最后得到电阻相变2～3个量级的VO2薄膜.对烘干温度、熔融温度、膜厚和热处理温度对薄膜电阻开关特性的影响进行了研究.通过XRD(X-ray diffraction)和XPS(X-ray photoelectron spectroscopy)对薄膜的结构和价态进行分析,表明用溶胶-凝胶法制备VO2膜工艺简单,重复性好.

关键词：膜、样品制备、电子开关、性能分析

所属期刊栏目：21

分类号：V25(航空用材料)

在线出版日期：2004-03-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：62-67