2013年度河北省科学技术突出贡献奖获奖者展示
刘玉岭,男,1942年2月出生,衡水市人,民进会员,河北工业大学教授、博士生导师.1966年毕业于南开大学.现任河北工业大学微电子技术与材料研究所所长、微电子学与固体电子学河北省重点学科负责人,电子科学与技术一级博士点负责人.刘玉岭同志在国内率先开展了电子信息领域工艺技术与材料化学机械超精密加工系统开发研究,在理论、路线方法及材料方面均实现了重大突破与创新,取得了多项关系到我国微电子行业发展的具有完全自主知识产权的重大科技成果,是我国化学机械超精密加工领域研究的奠基人,是集成电路平坦化工艺与材料领域的领军人,为我国集成电路材料超精密加工与持续发展做出了重要贡献.
河北省、科学技术、超精密加工、微电子技术、集成电路材料、化学机械、电子科学与技术、自主知识产权、学科负责人、南开大学、固体电子学、工艺与材料、博士生导师、行业发展、信息领域、系统开发、微电子学、科技成果、加工领域、工艺技术
TQ1;TQ5
2014-07-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共2页
55-56
