10.3969/j.issn.1672-903X.2013.01.026
科技创新打造多晶硅绿色循环生产之路——记多晶硅冷氢化生产核心专用加热合成反应器成套工艺装备
合成反应器、多晶硅、成套工艺装备、科技创新、冷氢化、绿色循环、生产之路、循环生产
TG5;TQ223.121;TQ127.2
2013-03-12(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
76-77
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10.3969/j.issn.1672-903X.2013.01.026
合成反应器、多晶硅、成套工艺装备、科技创新、冷氢化、绿色循环、生产之路、循环生产
TG5;TQ223.121;TQ127.2
2013-03-12(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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