2005年度国家技术发明二等奖复杂型腔工模具表面硬质薄膜材料制备成套设备及关键工艺技术

摘要：

@@ 该技术围绕脉冲直流等离子体化学气相沉积(PCVD)成套工业设备研制、PCVD制备硬质薄膜材料以及在工模具表面薄膜材料强化领域的关键应用等进行了系统研究,主要内容及特点如下:

机标关键词：国家、技术发明、复杂型腔、工模具、表面薄膜、硬质、膜材料制备、成套设备、等离子体化学气相沉积、薄膜材料、系统研究、脉冲直流、关键应用、工业设备、材料强化

分类号：TP3;TG1

在线出版日期：2007-03-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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