电场驱动喷射沉积微3D打印高分辨率氮化铝陶瓷基电路

摘要：

现有技术在高分辨率高密度电路的低成本批量化制造上仍然面临巨大挑战,无法满足陶瓷基电路对高频、高速、高密度集成的要求.提出了一种结合牺牲层的电场驱动喷射沉积微3D打印高分辨率氮化铝陶瓷基电路的新方法,该方法利用牺牲层克服了因陶瓷表面粗糙导致的射流不稳定问题,并借助牺牲层表面疏水特性进一步缩小线宽,实现了高分辨率电路的制造.实验研究了打印参数(电压、气压、打印高度、打印速度)、牺牲层以及烧结工艺对打印银线线宽和形貌的影响并优化了工艺参数.最后,使用含银量70％(质量分数)的导电银浆结合优化的工艺参数,在氮化铝基材表面实现了多种复杂电路图案制造,包括线宽/线距为2/3的高密度高分辨率电路图案以及目前已报道的最小线宽为8.1μm的导电银线.研究结果表明,结合牺牲层的电场驱动喷射沉积微尺度3D打印氮化铝陶瓷基电路新方法可为小型化、高功率陶瓷基集成电路低成本批量化制造提供有效途径.

关键词：微尺度3D打印、牺牲层、氮化铝陶瓷基电路、高分辨率

所属期刊栏目：34

分类号：TP391.73;TN03(计算技术、计算机技术)

资助基金：国家自然科学基金;国家自然科学基金;山东省高等学校青创科技支持计划;山东省自然科学基金重大基础研究项目;山东省高等学校科技计划项目

在线出版日期：2023-06-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共11页

页码：1353-1363