光纤法珀式SiC耐高温压力传感器的制造与测试

摘要：

针对高温环境下压力参数的原位测试需求,基于碳化硅(SiC)材料优异的耐高温特性,研制了一种光纤法珀式全SiC结构耐高温压力传感器.采用超声振动铣磨的加工方法制备了表面粗糙度Ra约11.9 nm的SiC传感膜片.利用SiC晶片氢氟酸辅助直接键合技术,实现SiC传感膜片与SiC基板的高强度气密性键合.搭建了高温压力测试系统,对制备的SiC耐高温压力传感器样机进行了高温环境下的性能测试.结果表明,该传感器能够实现600℃高温环境下0～4 MPa范围内的压力测量;600℃下传感器的压力灵敏度达到104.42 nm/MPa,具有较高的线性度,R2>0.99.

关键词：压力传感器、碳化硅、法珀干涉、超声加工、直接键合

所属期刊栏目：33

分类号：TP212(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金52022008

在线出版日期：2022-08-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1803-1809