飞秒激光精修面齿轮的扫描烧蚀特征控制

摘要：

基于飞秒激光精修面齿轮时的能量累积效应,建立了光子-电子-晶格系统间耦合作用的三温传热模型,提出一种确定飞秒激光烧蚀齿面扫描路径间扫描间距的方法.仿真得出,能量密度为6.47 J/cm2时,平衡温度3200 K超过材料的熔化温度,热累积效应明显.根据不同的扫描间距计算激光累积强度,以控制凹坑烧蚀深度和轮廓.实验结果显示,能量密度为6.47 J/cm2时,随着扫描间距的减小,激光累积强度增大,齿面的烧蚀深度线性增大;扫描间距为25μm时的齿轮表面加工质量良好.

关键词：飞秒激光、三温传热模型、能量累积效应、烧蚀深度

所属期刊栏目：33

分类号：TN24(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金;湖南省自然科学基金;湖南省自然科学基金;湖北省高等学校优秀中青年科技创新团队项目;机电汽车湖北省优势特色学科群开放基金;机电汽车湖北省优势特色学科群开放基金;机电汽车湖北省优势特色学科群开放基金

在线出版日期：2022-07-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1544-1550