微纳系统微区感应加热技术的研究进展

摘要：

微区感应加热作为一种局部加热技术,兼具热响应快、非接触及加热特性可控等优势,在微机电系统、微流控芯片等微纳系统领域的应用潜力巨大.介绍了微区感应加热的基本原理,系统阐述了微区感应加热在封装、驱动及材料生长等方向的研究进展,分析了待解决的关键问题,总结并指出了发展方向.

关键词：感应加热;局部加热;微系统;封装

所属期刊栏目：33

分类号：TH165

资助基金：国家自然科学基金;国家自然科学基金;航空科学基金

在线出版日期：2022-01-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共14页

页码：2-14,23