基于旋转磁铁箝位的压电尺蠖驱动器理论与试验分析

摘要：

为简化压电尺蠖驱动器信号控制系统并降低摩擦磨损,提出了一种基于旋转磁铁箝位的新型压电尺蠖驱动器.该驱动器利用直流电机带动永磁体转动实现交替箝位,通过激光对射传感器感知永磁体位置产生的激励信号来驱动压电叠堆实现精密直线位移输出.优化了驱动器结构的相关参数,制作了压电尺蠖驱动器样机并对其进行试验测试,结果表明:驱动器性能稳定,最小分辨率为0.119μm,最高速度和最大载荷分别为481.43μm/s、950 g.

关键词：压电、驱动器、箝位、尺蠖

所属期刊栏目：31

分类号：TN384(半导体技术)

资助基金：浙江省自然科学基金资助项目LY20E050009, LY18E050012

在线出版日期：2020-09-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：2059-2063,2070