化学机械干式研磨的转化率建模及优化试验

摘要：

化学机械干式研磨的最大去除率产生于化学固相反应与机械作用达到平衡时.建立了固相反应转化率的数学模型,以全面分析其影响因素.从影响因素中选择4个主要参数,展开固结SiO2磨料磨具研磨蓝宝石的试验研究.试验结果表明,按影响显著程度由高到低排列的4个参数分别为磨具转速、载荷、磨料粒径、磨料与结合剂的质量百分比,所研究范围内的化学机械作用最优参数组合是:粒径45 μm,百分比30％,载荷0.6 MPa,转速150 r/min.

关键词：研磨、固相反应、转化率、磨具

所属期刊栏目：30

分类号：TH161.1;TB14;TG580

资助基金：国家自然科学基金资助项目51575492,51605440,U1401247;中国博士后科学基金资助项目2017M621966

在线出版日期：2019-10-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：2185-2190,2197