精密球超精密加工技术的研究进展

摘要：

掌握精密球超精密加工过程中的球面研磨轨迹分布特性以及各工艺参数对加工结果的影响,对提高精密球加工精度与效率十分重要.对精密球超精密加工技术的发展及研磨均匀性的评价进行回顾,并根据精密球超精密加工技术的发展脉络,阐述当前主要精密球超精密加工技术的加工原理及加工实例.从材料去除率、加工精度、批一致性等方面对几种精密球超精密加工技术进行比较,并以提高加工精度及加工效率为目标,对精密球超精密加工技术的发展趋势进行预测.

关键词：精密球、超精密加工、研磨均匀性、研磨轨迹、批一致性

所属期刊栏目：30

分类号：TH161

资助基金：国家自然科学基金资助项目51375455,51705330;浙江省重点实验室开放基金资助项目EM2016070102;浙江省自然科学基金资助项目LQ19E050005

在线出版日期：2019-07-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共12页

页码：1528-1539