高速动车组轴温测量用特种结构薄膜传感器的研制

摘要：

针对高速动车组轴箱轴承温度变化迅速的特点,研制了一种以NiCr/NiSi薄膜为敏感材料的特种结构薄膜传感器.采用自行开发的标定系统对直流脉冲磁控溅射技术制备的薄膜传感器进行动静态特性标定,结果表明所研制的薄膜传感器在30～400℃内具有良好的线性度,其塞贝克系数为37.84μV/℃,非线性拟合误差小于0.7％,动态响应时间为53.72 ms.特种结构薄膜传感器磨损实验结果表明:传感器测温端的磨损对其温度测试的动静态特性影响很小,即测温端部分磨损不影响其测温性能.

关键词：薄膜传感器、瞬态轴温测量、磁控溅射、动态标定、磨损实验

所属期刊栏目：29

分类号：TH811

资助基金：国家自然科学基金资助项目51575074;辽宁省科技计划资助项目2012220007

在线出版日期：2018-04-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：63-69