注塑模具型腔表面阵列微结构的蚀刻技术

摘要：

设计了一种简单的掩模，并通过控制蚀刻液的喷淋压力进行了平滑阵列微结构研究。研究发现，蚀刻液喷淋压力对微结构的加工形貌有显著影响，蚀刻深度和侧蚀量随蚀刻液喷淋压力增大而增大。研究整合了多次加工和控制喷淋压力的工艺，得到了理想的无棱边棱角、结构均匀的深度渐变型阵列微凸结构。最终在注塑模具表面上加工出宽度为200μm、深度约60μm 的无棱边棱角、过渡平滑的阵列微结构。

关键词：化学蚀刻、表面微阵列结构、蚀刻深度、侧蚀量、二次加工

所属期刊栏目：27

分类号：TH16

资助基金：国家自然科学基金资助项目U1134003

在线出版日期：2016-09-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：2356-2360