微球球度测量技术的研究进展

摘要：

根据目前微球球度测量技术的原理，首先将其分为接触式测量和非接触式测量，其中非接触测量主要分为光学图像测量法和激光干涉测量法，就此对国内外微球球度测量技术进行了介绍和比较，并指出各种测量技术需要解决的问题。然后针对这些技术的局限性，如被测尺寸较大、测量精度不高、测量对象材料限制等，探讨了目前正在研究中的新型球度测量方法和技术。最后对微球球度测量方法和技术的研究及开发趋势进行了总结和展望。

关键词：微球、球度、三维测量、微纳测量

所属期刊栏目：27

分类号：TH71;TH89(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金资助项目51475131

在线出版日期：2016-06-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1271-1277