新型并联柔性铰链微动精密平台的研究

摘要：

基于3-PRC并联机构提出一种由压电陶瓷驱动的新型3-PRC并联微动平台,并进行了构型优化设计;采用矢量法对该平台的位置进行分析,并给出了该平台的理论耦合性误差;采用有限元对其运动解耦性进行了研究.最后制作了实验样机,并进行了实验测试.研究结果表明,该并联微动平台可以实现微米级三维移动,具有较高的精度和良好的运动解耦特性.

关键词：3-PRC、并联微动平台、解耦、三维移动

所属期刊栏目：27

分类号：TP24(自动化技术及设备)

资助基金：河北省自然科学基金资助项目E2013203293

在线出版日期：2016-08-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：888-893